定向自组装

定向自组装是一种自顶向下(Top-down)和自底向上(bottom up)相结合的技术。定义定向自组装是集成电路制造中,一种生成基片图案的技术。原理

定向自组装光刻(Directed Self-Assembly ,DSA)是诱导光刻材料在硅片上自发形成有序结构的一种技术。自组装(self-assembly),是指基本结构单元(分子,纳米材料,微米或更大尺度的物质)自发形成有序结构的一种技术。在自组装的过程中

制图外延定向自组装是嵌段共聚物定向自组装的一种方式。与化学外延方式的DSA不同,嵌段共聚物在具有限制性的沟槽里,会根据共聚物本身的自然周期和限制沟槽的性质进行定向自组装。由于这种方式的定向自组装具有很好的对准精度,所以非常适合通

本发明涉及一种毛细流定向自组装成环分析方法,属于生化、药物及环境分析技术领域。简介 该方法用疏水性玻片代替薄膜作为基质,借助辅助成环剂,获得环径很小的自组装环,使溶液中几乎全部溶质都富集在环线上,降低背景干扰,提高测定的灵敏

化学外延主要是对固体基底表面进行化学修饰,使基底表面的化学性质呈有序图形化,从而对嵌段共聚物各个嵌段的自组装起化学诱导的作用。化学外延保持了DSA(定向自组装)固有的优点,同时,相比于制图外延,可以有效避免光刻模版沟槽的限制,有

洗脱法是在定向自组装工艺中实现中性衬底中部分区域非中性化的一种手段。图1的“洗脱法”方案是由Tokyo Electron公司和IMEC合作开发,在2012年的SPIE 会议上发布,该方案分主要工艺步骤如下:先采用正性浸没式光刻胶在 BARC 层上制作出

二、定向自组装 101 三、嵌段共聚物结构的相变路径 102 第四节 未来5~10年重点发展方向 102 一、发展高效方法研究多嵌段共聚物体系的自由能泛函 102 二、发展超越高斯链的模型:蠕虫链模型和手性高分子模型 102 三、分子之间相互作用

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